真空鍍膜機(jī)的操作方法
真空鍍膜機(jī)主要是指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)、磁控濺射、MBE分子束外延。用戶對(duì)于真空鍍膜機(jī)的操作方法都了解嗎?下面小編就來(lái)具體介紹一下真空鍍膜機(jī)的操作方法，希望可以幫助到大家。
真空鍍膜機(jī)電控柜操作
1. 開水泵、氣源。
2. 開總電源。
3. 開維持泵、真空計(jì)電源，真空計(jì)檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。
4. 開機(jī)械泵、予抽，開渦輪分子泵電源、啟動(dòng)，真空計(jì)開關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。
5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后，關(guān)予抽，開前機(jī)和
高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子槍電源。
DEF-6B操作
1. 總電源。
2. 同時(shí)開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時(shí)開關(guān)，延時(shí)、電源及保護(hù)燈亮，三分鐘后延時(shí)及保護(hù)燈滅，若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護(hù)燈會(huì)常亮。
3. 開高壓，高壓會(huì)達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動(dòng)。
關(guān)機(jī)順序
1. 關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。
2. 待分子泵顯示到50時(shí)，依次關(guān)高閥、前級(jí)、機(jī)械泵，這期間約需40分鐘。
3. 到50以下時(shí)，再關(guān)維持泵。
真空鍍膜機(jī)檢漏操作
1、將氦質(zhì)譜檢漏儀 HLT 560連接到泵組前的檢漏口上.
2、啟動(dòng)檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時(shí)啟動(dòng)鍍膜設(shè)備的泵組.
3、在鍍膜機(jī)內(nèi)部的真空下降到一定程度的時(shí)候,如0.5 mbar以下的時(shí)候,拿氦氣噴在懷疑有漏的地方,或者檢查標(biāo)準(zhǔn)保養(yǎng)時(shí)動(dòng)到的部位.這時(shí)需要有人觀察檢漏儀的漏率指示值的變化.當(dāng)漏率上升或漏率值變化劇烈的時(shí)候,及時(shí)指出漏點(diǎn)所在位置,并做記號(hào).
4、所有可疑點(diǎn)都檢測(cè)完成后,關(guān)閉檢漏儀,停下鍍膜機(jī)的泵組并將鍍膜機(jī)打開,將檢測(cè)出的漏點(diǎn)進(jìn)行處理(如更換密封圈,清潔等等).處理完成后,再按照前敘步驟檢查一遍,直到所有漏點(diǎn)都被清除,檢漏過(guò)程完成.